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二十分钟全面了解各种真空泵(二)

放大字体  缩小字体 发布日期:2017-02-22  来源:化工707  浏览次数:1072

二十分钟全面了解各种真空泵(一)

      6、旋片式真空泵

旋片式真空泵旋片式真空泵

工作原理:

旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分,当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的,正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程。

由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀),气体压强降低,泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强,因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时,即转至空间B的位置,气体开始被压缩,容积逐渐缩小,最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时,排气阀被压缩气体推开,气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转,达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了极限真空度。

旋片式真空泵的特点及适用范围:

特点:

真空泵吸气口安装有金属丝网的粗过滤器。能防止固体的外来尘粒吸入泵腔。油分离器内安装有高效油气分离效果的排气过渡器。停泵时,内置于吸气口的吸气阀使泵与被抽系统隔离,防止油返入被抽系统。泵由空气冷却。XD旋片真空泵所有的泵均由直联的电动机通过弹性联轴器驱动。

适用范围:

1.真空泵适用于密闭系统的抽真空使用。如真空包装、真空成形、真空吸引。

2.入口压力范围:100Pa—100000 Pa,超出此范围工作真空泵排气口将有油雾产生。XD型旋片式真空泵工作环境温度和吸入气体温度应在5℃~40℃之间。

3.真空泵不能抽除水或其它液体。不能抽除易爆、易燃、含氧量过高的、腐蚀性的气体。

4.一般供应的电动机不防爆,如要求防爆或其它特殊要求时电动机必须符合相关的标准。

旋片式真空泵的应用:

其工作压强范围为101325-1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。 旋片式真空泵是抽除气体的基本设备之一,它可单独使用,也可与增压泵、扩散泵、分子泵等超高泵连接在一起作为前级泵使用。

1、旋片式真空泵是用以抽除特定密封容器内的气体,使该容器获得一定真空的基本设备,由于现代科学技术的高度发展,旋片真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位,可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用。并广泛在榨油机上使用。

2、由于旋片真空泵是用黑色金属制造,而且比较精密,整个泵的工作都是联系在一起的,所以旋片真空泵不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体,也不可做为压缩机和输送泵使用。如有气镇装置的泵,可抽除一定地的可凝汽体。

性能特点

旋片真空泵是由旋片分隔的泵腔工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵,当采用工作液来进行润滑并填充泵腔死隙,分隔排气阀和大气时,即为通常所称的迅达真空泵的旋片真空泵,在性能上有如下特点:

1.体积小、重量轻、噪音低;

2.设有气镇阀,可抽除少量水蒸气;

3.极限真空度高;

4.内装强制进油,润滑充分,性能可靠;

5.设有自动防返油双重保险装置;

6.保持进气压强为1.33×10Pa时仍可连续运转;

7.不漏油、不喷油、不污染工作环境,排气装置有专配油雾收集器;

8.可以配备小口径转换接头和国际标准的KF接口。

旋片式真空泵的使用特点

抽气速率: 4~100L/S (升/秒)

极限压强: ≤6*10-2Pa (帕)

极限真空: ≤1.3Pa (帕)

气体类型: 常温无其它混合物的清洁干燥空气,不许有含其它粉尘及水分的空气。

工作要求: 进口压强在大于6500Pa时连续工作时间,不得超过3分钟以免喷油引起泵损。

工作要求: 进口压强在小于1330pa的条件下,允许长时期连续工作。

环境温度: 真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。

      7. 滑阀式真空泵

滑阀式真空泵

工作原理:

滑阀式油封机械泵(简称滑阀泵)同旋片泵一样,也是一种变容式气体传输泵。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。

这种泵亦分单级泵和双级泵两种,有立式和卧式两种结构形式。

滑阀式油封机械泵(简称滑阀泵)同旋片泵一样,也是一种变容式气体传输泵

这种泵主要由泵体及在缸内作偏心转动的滑阀所组成。在泵缸中,装有滑阀环(4),其内装有偏心轮(3)。偏心轮固定在轴(2)上,轴与泵缸中心线相重合。在滑阀环上装有长方形的滑阀杆(5),它能在半圆形滑阀导轨(7)中上下滑动及左右摆动,因此泵缸被滑阀环和滑阀杆分隔为A,B两室,泵在运转过程中,由于A, B两室容积周期性地改变(极小与极大之间),从而达到抽气的目的。双级型的滑阀泵,实际上是由两个单级泵串联起来的,它的高、低真空室在同一泵体内,有的是直接铸造成一个整体,有的是压入中隔板来把泵腔分为高、低两室。但二者的前后两室均不直接有孔相通,而是高真空室把容器中的气体吸入经膨胀压缩后排到泵腔上部空腔,再由低真空室吸入经膨胀压缩过程排出泵外。

滑阀泵由于其结构特点,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa,对大泵≤1.3Pa(均关气镇),双级泵的极限压力≤0.06Pa(关气镇)。抽速大于150L/s的滑阀泵多采用单级型式。

由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心,如果滑很好的质量平衡,在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线,因此很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。做好滑阀的质量平衡,减少泵的振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。

滑阀式真空泵的结构特点

滑阀式真空泵是工业领域常用的一种油封式真空泵。区别于其他油封式真空泵,它最大的特点是通过滑阀式转子在泵浦内做机械运动,改变腔体容积来达到特定的抽气母的。因此滑阀式真空泵也是一种容积式泵浦。与其他油封式真空泵一样也可以抽取一般性气体或含有少量可凝性气体,在不同领域的真空应用也较为广泛。

与一般旋片式真空泵一样,滑阀式真空泵也有单级与双极之分,当然根据它的结构特征还有立式和卧式两种不同的结构形式。单级滑阀式真空泵极限真空值一般可以抽到0.4^-1.3Pa,双级滑阀式真空泵的极限压力可以抽到6 X 10-2 ---10-'Pa的范围内。在实际工业应用中,超过一般抽速超出150L/S的工艺要求的,通常采用单级式滑阀真空泵。

由于结构上的特点,使得这种泵具有能够长期在较高压强和较差的抽气条件下工作、使用寿命长等优点,在各个领域(例如真空冶炼、真空干燥、真空镀膜、真空浸溃等其他真空作业领域)都得到了广泛的应用。由于滑阀泵耐用、可靠,能在恶劣的抽气环境下工作,因此它可以单.独使用,也可作为其他真空泵的前级泵。

滑阀泵有单级H型、双级2H型:滑阀式真空泵适用于抽吸空气及其他一般性气体,当使用气镇时,亦能抽吸含有掌上少量的可凝性气体(如水蒸汽)。当抽吸含氧过高的、有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的气体时,应该附加装置。本型泵可单独使用,也可作为扩散泵、油增压泵、罗茨泵等高真空泵的前级泵,相对于旋片式真空泵,H型滑阀泵比较耐用,使用寿命长。该泵在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、分子蒸馏、航空模拟试验使用较多。

滑阀真空泵有以下特点:

1)经过优化设计配重,振动少,噪声低。

2)轴承密封室单独供油,与泵腔隔开,避免了杂质进入轴承、密封过早损坏。

3)根据用户要求,可附带副油箱,达到冷却真空油分离杂质的作用。

4)除老式H-150外,电机均置于泵的上方,结构紧凑,占地面积少

滑阀真空泵的应用范围

广泛应用在航天、航空、原子、石油、化工、制药、电工、陶瓷、冶炼、新材料、真空热处理、真空镀膜等行业。 滑阀真空机组具有显著的节能效果,真空度高,高真空区间抽气量大,可广泛应用于电力工业的变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍、真空干燥工艺中。是真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空滤油、冷冻干燥;航空模拟试验较理想的真空设备。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉尘的气体,应加装过滤装置。

       滑阀真空泵的应用要点:

滑阀泵虽然是一种老泵,但与旋片泵等比较,它具有允许工作压力高"(104Pa)、抽气量大、能在较恶劣环境下连续工作,经久耐用等突出优点,所以在真空冶炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等行业得到广泛的应用随着真空应用范围越来越广泛,在真空干燥、真空浸渍、真空脱水、真空冶炼等行业用滑阀泵抽除气体都含有大量水蒸汽。如果在真空泵中不能及时排除,就会污染真空泵油,造成真空泵抽气性能降低。尽管在泵上设置了气镇阀,认可降低泵的极限真空,用气镇方法抽除可凝性气体,但对于真空干燥、脱水、炼泥等水蒸汽含量高的抽气过程来说,用气镇方法并不理想,一般有以下方法可试用:

a滑阀泵与冷凝器配套使用。目前国内多数厂家采用这一方案。原理是将冷凝器串接在泵与被抽容器之间,把真空工艺设备中的大量水蒸汽用冷凝器捕捉成水,从而减少水蒸汽进入真空泵中的数量、降低泵油污染程度。如果适当调节冷凝器出口阀门流量和充分发挥真空泵上的气镇阀作用,可以取得较好的抽气效果。

b变滑阀泵为热泵。根据水的物理特性及相图原理,可将滑阀式真空泵改成热泵。这样.可在较高泵腔温度条件下,抽除大量可凝性水蒸汽。其工作原理如下:用一套自动温度调节控制器,通过自动控制泵的冷却水流量来达到控制泵腔温度的目的。使得在抽气过程中,泵腔的温度始终控制在高于水的饱和蒸汽压温度,促使被抽气体中的大量水蒸汽能顺利排出。

为避免出现由于泵腔内温度较高,泵长期工作可能会出现的泵油变稀、真空度下降、运转零部件卡死等现象,在设计中可采用耐高温的泵油如(N-62或N-68)和耐高温轴承.加大运转零部件的间隙等

      8、罗茨真空泵

罗茨真空泵

工作原理:

罗茨泵在泵腔内,有二个"8"字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。

但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。

罗茨泵的特征是:

启动快,耗功少,运转保护费用低,抽速大、效力高,对被抽气体中所含的大批水蒸汽和灰尘不敏感,在100~1帕压力规模内有较大抽气速率,能敏捷消除忽然放出的气体。这个压力规模恰益处于油封式机械真空泵与分散泵之间。因而,它常被串联在分散泵与油封式机械真空泵之间,用来进步两头压力规模的抽气量。这时它又称为机械增压泵。

(1)在较宽的压力规模内有较大的抽速;

(2)转子具备良好的几何对称性,故振动小,运转颠簸。转子间及转子和壳体间均有间隙,不必光滑,摩擦丧失小,可大大下降驱动功率,从而可完成较高转速;

(3)泵腔内无需用油密封和光滑,可增加油蒸气对真空体系的净化;

(4)泵腔内无收缩,无排气阀。构造简朴、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;

(5)收缩对比低,对氢气抽气后果差;

罗茨真空泵的应用

罗茨真空泵在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。同时罗茨真空泵广泛用于真空冶金中的冶炼、脱气、轧制,以及、食品、医药工业中的真空蒸馏、真空浓缩和真空干燥等方面。真空泵配件为用于真空泵噪声治理的,真空泵消音器。

转子外表为外形较为庞杂的曲线柱面,加工和检讨对比艰难。罗茨泵近几年在海内外得到较快的开展。在冶炼、石油化工、电工、电子等行业得到了普遍的运用。

      9、油扩散真空泵

油扩散真空泵

工作原理:

油扩散真空泵,采用不锈钢内腔并含有纵向叠加的锥形喷射口的内室。通常有三个喷射口内室其大小逐个减小, 最大的在底部。在内腔的底部是一滩特殊的低蒸汽压油。油由内腔底部下设的电加热器加热煮沸,气化的油油向上移,从各个内室的喷射口排出来。而水通过在内腔外壁的循环使内腔降温,从而避免热量外溢并维持其长时间的运转。

油扩散真空泵,采用不锈钢内腔并含有纵向叠加的锥形喷射口的内室

之所以称它为扩散泵的唯一理由是,根据观察抽取气体的分子渗透进蒸汽喷口的方式类似于一种气体扩散到另一种气体里。从相当大直径的喷射口出来,高能油滴以时速750英里每小时的速度在内室和内腔壁之间向下落去。这些油滴已达到了超音速,但却没有音爆,主要因为部分真空状态下分子间隔太大以至于不能传导声能。蒸汽喷口的捕捉率取决于他的密度,速率和分子量。高速喷口 与在碰巧进入其内部的气体分子发生碰撞是由于气体分子的热运动。这通常会给分子以向下的动力使它们能从泵的排气口排出从而达到更高的真空水平。在内腔底部,积淀下来的大气气体分子被辅助泵消除,同时积淀下来的油则开始又一轮的循环。

之所以称它为扩散泵的唯一理由是,根据观察抽取气体的分子渗透进蒸汽喷口的方式类似于一种气体扩散到另一种气体里

性能参数

通常扩散泵的性能是以极限真空、最大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。

1.极限真空

如果对一般油扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能大大改善,极限真空可达到更低的压强。

2.最大反压强

最大反压强是指扩散泵所允许的前置压强最大值。如果前级泵所产生的压强高于最大反压强,则扩散泵就不能正常工作。

3.抽气速率

扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。

4.设置冷阱及低温挡板的原因

由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子,大部分由泵壁冷凝,这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射,散射会返回被抽空间,这种现象在低温实验室中要特别注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板,这样就能使返加的蒸气被冷凝下来,截止了油蒸气的返流。

扩散泵的应用范围

扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似,它们都是利用高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的,所以扩散泵具有和水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点主要在于扩散泵工作在高真空区域,其工作压强范围为10-2~10-6pa。扩散泵广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。

影响油扩散泵性能的因素如下

1、油扩散泵的返流。

2、气体分子的反扩散。

3、扩散泵油的裂化分解,一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001Pa左右),受热稳定性好,不易被氧化,分子量大的高沸点的液体,如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。

4、泵清洗不干净,污染物质留在泵内并重复循环,影响其真空度。

扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵,目前,扩散泵是最广泛、最主要的获得高真空的工具之一 。作为前级泵。高真空扩散泵主要由泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气导流管、加热器和冷却器等组成。

      10、分子泵工作原理

分子泵工作原理

工作原理:

分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递原理,使分子定向流动而被排出泵外(公众号:泵管家),从而达到抽气的目的。

分子泵在电机的带动下高速旋转,采用变频电源驱动电机,目的是得到较高的转速。在分子流区域内,气体分子与高速转到的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面的运动方向上,产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子,并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象,利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵(盖德泵)。牵引分子泵的优点是启动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸气,特别适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小,密封间隙太小,工作可靠性较差,易出机械故障,而且制造困难,实际上很少应用。后来对牵引分子泵进行了改进,出现了涡轮分子泵。

涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶,每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片,如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成,即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用,能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速,有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难。

可以看出,涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比,从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高,可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度,其真空度高低视泵不同略有差异,一般在1-200Pa之间,可采用机械泵作为前级泵,高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高,通常用中频电机带动,中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。

复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体,能在很宽的压力范围10^-6-1Pa内,具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。

工作条件

(1)转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。

(2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。

分子泵特点

油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。

脂润滑分子泵:油脂量极小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。

其他常见应用:

1.分析(质谱分析、电子显微镜等)

2.半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)

3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)

4.镀膜(表面保护,装饰涂料,显示器,屏幕)

5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)

6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊

7.研究实验(医学核磁共振成像、核粒子物理,核聚变研究,激光应用和许多更多)

8.灯生产行业及相关

      11、钛升华泵

钛升华泵

钛升华泵的工作原理

从图可见,钛升华泵的结构大致可分为三部分:吸气面、热丝(或升华器)和控制器。钛升华泵的工作过程是由控制器通电给升华器(或热丝),使钛加热到足够高的温度(1100oC)直接升华。升华出来的钛沉积在用水或液氮冷却的表面上,形成新鲜的钛膜层。钛在升化和沉积的过程中,与活性气体结合成稳定的化合物(固相的TiO或TiN),结果将空间的气体分子抽除了。

钛升华泵抽除的气体分子吸附在钛膜上,吸附机理是比较复杂的.通常认为是物理吸附和化学吸

附综合作用的结果,以化学吸附为主。

钛升华泵的结构

钛升华泵可有三种类型,一种是单体泵,用法兰与被抽容器联接;另一种是升华器放入被抽容器中,被抽容器壁即为吸气面;第三种是与其它泵组合,作成组合泵。无论哪种类型,都必须有吸气面、升华器和控制器三部分。吸气面主要是泵体或各种壳体,控制器属于电控,升华器的种类较多,这里介绍几种升华器的结构。

1)对升华器的要求:能提供所需要的钛升华率;钛升华率易于调节,可连续或间断地供应吸气剂;钛升华器本身出气少或易于去气;要有足够的工作寿命,即要有足够的储钛量。

2)电阻加热式升华器:直接通电加热钛丝。常用两种结构。

①缠绕钛丝式升华器:将钛丝直接缠绕在钨杆或钽杆上,钨杆或钽杆通电加热到足够高的温度,钛就不断升华出来。

②钛钼丝式升华器:这种升华器是将钛(85%)与钼(15%)冶炼成合金或将钛直接镀在钼杆上,然后将钛钼丝直接通电加热,使钛不断升华。

3)热传导加热式:它是由导热性能良好的氧化铍陶瓷为芯,内串以铼钨丝制成的加热器。陶瓷芯上先绕一层钼箔,防止钛与氧化铍直接接触起反应,避免钛的加剧消耗。钛带缠绕在钼箔上,它们之间用氧化铪-甘油浆涂敷。

4)辐射加热式升华器:这种升华器从结构上将加热源和升华源分成两部分。利用放在钛球内的螺旋钨丝,由电阻加热作热源,利用辐射加热钛球,使钛不断地升华。

钛升华泵的特性

1)极限压强:可达10-10Pa。

2)抽速:钛升华泵的抽速较大,新鲜钛膜在液氮温度下,对氮的抽速可达10.1L/cm²·s,对氢的抽速可达19.9L/cm²·s。钛升华泵的抽速受很多因素影响,升华速率是决定其抽速的主要因素之一。若吸气面足够大,在一定压强范围内,升华速率高,则泵的抽速大。当然膜沉积速率与排气量要相称,否则第一层钛膜吸气尚未饱和,第二层又覆盖上去,即使升华率高,抽速也增大不了多少。为了维持恒定的抽速,减少钛的消耗,需要对升华速率进行调节。当真空度高时要把升华速率降低。吸气面也是决定泵性能的重要因素之一。吸气面越大,泵的抽速越大。但泵口流导限制了泵的抽速。对室温下空气,泵口最大流导是11.7L/cm²·s。

钛升华泵的特性

1)极限压强:可达10-10Pa。

2)抽速:钛升华泵的抽速较大,新鲜钛膜在液氮温度下,对氮的抽速可达10.1L/cm2·s,对氢的抽速可达19.9L/cm2·s。钛升华泵的抽速受很多因素影响,升华速率是决定其抽速的主要因素之一。若吸气面足够大,在一定压强范围内,升华速率高,则泵的抽速大。当然膜沉积速率与排气量要相称,否则第一层钛膜吸气尚未饱和,第二层又覆盖上去,即使升华率高,抽速也增大不了多少。为了维持恒定的抽速,减少钛的消耗,需要对升华速率进行调节。当真空度高时要把升华速率降低。吸气面也是决定泵性能的重要因素之一。吸气面越大,泵的抽速越大。但泵口流导限制了泵的抽速。对室温下空气,泵口最大流导是11.7L/cm2·s。

钛升华泵的应用

钛升华泵在电子器件、高能加速器、可控热核反应装置和空间模拟装置,以及表面物理试验等方面都得到广泛的应用。钛升华泵(TSP)可以有效抽除活性气体H2、N2、CO等,适用于超高真空(UHV)系统。


 
关键词: 消防泵 真空泵

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